精密加工是指于很大的产业发展末期，加工精度与耐酸性达至较高某种程度的加工工艺。现阶段精密加工是指加工精度为1~0.1μm，表层温度梯度为Ra0.1~0.01μm的加工技术.

超精密加工则是指于很大的产业发展末期，加工精度与耐酸性达至最高某种程度的加工工艺。或许，在相同的产业发展末期，精密与超精密加工有相同的标准。现阶段的超精密加工是指加工零件体积精度大于0.1μm，表层温度梯度Ra小于0.025μm，机床功能定位精度的解析度和随机性大于0.01μm的加工技术，又称为亚nm级加工技术，并已经开始向碳纳米管加工技术产业发展。

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